EUV 장비를 독점 공급 중인 네덜란드 ASML이 2천400억원을 투자해 경기도 화성에 극자외선(EUV) 장비 클러스터를 구축한다. 노광기와 관련된 트레이닝센터와 재제조(Re-manufacyuaring)센터가 집적된 EUV 클러스터를 조성한다는 목표다.

산업부 관계자는 "한 대당 1500억~2000억원 EUV 노광기 장비는 재제조센터를 통해 수명을 늘릴 수 있을 것"이라며 "EUV 클러스터는 올해부터 착공하면 2025년 정도 완공될 것"이라고 말했다.

13일 업계에 따르면 삼성전자 평택캠퍼스에서 K-반도체 전략 보고회가 진행됐다. 이날 ▲차량용 반도체 수요-공급기업 연대·협력 협약식 ▲첨단장비 클러스터 투자 협약식 등 반도체 생태계 강화를 위한 업무협약이 체결됐다. 정부는 이를 통해 미래차 핵심 반도체의 선제적 내재화에 나서는 한편 글로벌 반도체 생산기지로서의 위상을 굳힌다는 목표다.

산업통상자원부 관계자는 "ASML이 화성에 첨단 EUV 클러스터를 조성하기 위해 2천400억원 규모의 투자 의향을 밝혔다"며 "ASML은 이를 위해 300명을 채용할 계획"이라고 말했다.

ASML은 n나노대의 반도체를 제작하기 위해 필수적인 EUV 노광 장비를 전세계에 독점 공급하는 업체다.

ASML은 반도체 패권다툼을 벌이고 있는 미국과 중국도 함부로 대할 수 없어 '슈퍼을'이라 불린다. 이 회사 장비가 없으면 첨단 반도체 생산이 불가능하기 때문이다. 

이런 이유로 국내 기업들도 ASML에 적극 구애에 나서는 모양새다. 지난해 10월 이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드를 방문해 피터 버닝크 ASML 최고경영자 와 회동을 갖고 차세대 EUV 노광장비 공급 확대를 논의했을 정도다.

ASML이 이날 한국에 투자계획을 발표하면서 ASML과 국내 반도체 기업들의 윈윈 효과가 기대된다. ASML이 트레이닝 센터를 세워 장비 전문 인력을 양성하면 국내 기업이 인재를 확보하는 데 일조할 수 있기 때문이다.

한국에 ASML이 설립하기로 한 재제조 시설은 국내에서 가동 중인 EUV 장비 성능 업그레이드를 지원하기 위한 것으로, 이 시설이 건립되면 삼성, SK하이닉스 등 고객사와 협력 속도를 높일 수 있을 전망이다.

업계 관계자는 녹색경제신문에 "ASML장비를 사용하고 있는 기업들 입장에서 이번 ASML의 국내 EUV 클러스터 조성은 반가운 상황"이라며 "ASML이 구체적으로 어떤 서비스를 제공할지는 정확히 밝혀지지 않아 상황을 더 지켜봐야할 것"이라고 말했다.